品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 進口 |
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應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,能源,航天,汽車,電氣 | | |
Laserscale讀數(shù)頭BS78?
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點
高速和高分辨率,同時保持穩(wěn)定,超密測量。適用于密工作臺、半導(dǎo)體/制造系統(tǒng)和超密加工機器。
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高分辨率的尺度,信號音高約為。138nm,優(yōu)于光波干涉儀系統(tǒng)
高穩(wěn)定性,不受濕度、氣壓和空氣干擾的影響
參考點度:±0.1μm
刻度度:±0.04μm(測量長度:40mm)
非接觸式設(shè)計了返回錯誤。
殊的無磁性和真空兼容的型號
使用低膨脹玻璃:-0.7 x 10-6/℃(測量長度:10420毫米)
規(guī)格
型號 | BS78 |
測量長度 | 10(only N/NS)/40/70/120/170/220/270/320/370/420 |
總長 | 58mm (L=10mm:open type scale), L + 26mm (L= 40mm to 420mm) L: 測量長度 |
可動長 | L + 2mm (L=10mm:open type scale), L +10mm (L= 40mm to 420mm) L: Measuring length |
度20攝氏度 | - NS type, RS type :
- ±0.03μm (L=10mm : NS type)
- ±0.04μm (L=40mm)
- ±0.10μm (L=70/120mm)
- ±0.18μm (L=170/220mm)
- ±0.25μm (L=270mm)
- ±0.34μm (L=320mm)
- ±0.39μm (L=370mm)
- ±0.44μm (L=420mm)
- L: Measuring length
| - N type, R type :
- ±0.06μm (L=10mm : N type)
- ±0.08μm (L=40mm)
- ±0.20μm (L=70/120mm)
- ±0.35μm (L=170/220mm)
- ±0.50μm (L=270/370mm)
- ±0.65μm (L=420mm)
- L: Measuring length
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光柵間距 | 約 0.55μm |
信號波長 | 約. 0.138μm (約. 138nm) |
原點度 | 0.1μm (Only R/RS type) |
原點位置 | 在中間,并每隔50mm從向左和 右側(cè)(BS78型號測量長度為320、370、420毫米: 距20mm,間距50mm) |
原點檢出方向 | 單方向 |
返回錯誤 | 這幾乎被了。它應(yīng)該被認為是 小于所使用探測器的兩個分辨率限制。 |
光源 | 半導(dǎo)體激光器:波長790nm,輸出6mW |
輻射功率 | DHHS class 1 |
原理 | 衍射光柵掃描系統(tǒng) |
作溫度 | 1030?C(無凝結(jié)) |
儲存溫度 | -1050?C(濕度60%或以下) |
響應(yīng)速度 | 400mm/s(與BD96連接時) |
Laserscale讀數(shù)頭BS78?
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