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測量范圍

X(mm)

400

Y(mm)

300

Z(mm)

200

工作臺(tái)

金屬臺(tái)面尺寸(mm)

560ⅹ460

玻璃臺(tái)面尺寸(mm)

429ⅹ329

儀器重量(kg)

320

外型尺寸

（長ⅹ寬ⅹ高）（mm）

910ⅹ660ⅹ960

儀器精度

測量精度

X,Y 軸≤（3+L/200）μm   Z軸≤（5+L/150）μm  

重復(fù)精度

≤2μm

X,Y雙向區(qū)段精度

≤2μm

X、Y、Z光柵分辨率

0.001mm

影像系統(tǒng)

變焦物鏡倍率

0.7～4.5X

視頻總倍率

30X～180X

物方視場

7-1.1mm

測量軟件

軟件Inspect3D

測量軟件

軟件Inspect3D

軟件功能：                    

2D、2.5D元素測量：點(diǎn)、線、圓、圓弧、橢圓、距離、角度、矩形、O形環(huán)、槽型、開云線、閉云線、同心度、深度、平行度、對(duì)稱度、垂直度、高度、平面距、傾斜度。

3D元素測量：圓柱體、圓椎體、球體等。

組合元素測量：兩點(diǎn)距離、兩線距離、點(diǎn)到線距離、點(diǎn)到圓距離、線到圓距離、圓心距、兩線交點(diǎn)、組合角度、角平分線、兩線中線、三點(diǎn)組合圓、線圓切點(diǎn)。

電源

110V（AC）～220V(AC)      50HZ          總功率：1000W

使用環(huán)境

溫度：20±5℃            濕度：45%-65% 

光學(xué)鏡頭

多層光學(xué)鍍膜  0.7-4.5X高清定格定倍九檔位鏡頭

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：

影像系統(tǒng)采用日本索尼芯片高分辨率彩色CCD、成像優(yōu)良、清晰逼真、色彩飽滿。

光學(xué)鏡頭采用進(jìn)口高品質(zhì)光學(xué)組件,經(jīng)過多層光學(xué)鍍膜、耐油漬、耐腐蝕、光學(xué)衰減微小、長久使用仍然光亮清晰。

光源系統(tǒng)

表面光

智能程控五環(huán)八區(qū)光源，自動(dòng)激光指示器（LED燈珠）

輪廓光

智能程控LED平行光源

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：

進(jìn)口LED環(huán)形冷光源五環(huán)八區(qū)設(shè)計(jì)，無極調(diào)節(jié)，光線細(xì)膩柔和，表面光成像明亮清晰。成像清晰，邊角分明，特別對(duì)軸類、圓弧類工件測量更加精準(zhǔn)。

傳動(dòng)系統(tǒng)

控制器

CNC全閉環(huán)控制器（四軸）

電機(jī)

高精度全閉環(huán)伺服電機(jī) 英國BROOK（采用尼康光學(xué)編碼器，百萬級(jí)細(xì)分）

電機(jī)座

一體式C3級(jí)配置雙角接觸軸承

支撐座

一體式C3級(jí)配置雙角接觸軸承

導(dǎo)軌

研磨P級(jí)線軌（中國臺(tái)灣TBI）

絲桿

研磨C3級(jí)滾珠絲桿（中國臺(tái)灣TBI）

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：全閉環(huán)控制，高速響應(yīng)，定位精準(zhǔn)，運(yùn)行穩(wěn)定。

光柵尺

光柵分辨率0.001mm（首豐）

減震系統(tǒng)

減震腳

外徑120mm     厚度：40mm    數(shù)量：4個(gè)

總承載重量

6噸

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：減震器的配置使儀器在有震動(dòng)的使用環(huán)境之下或高速運(yùn)行的狀態(tài)下能夠使儀器獲得更高的精度、速度和穩(wěn)定性。

玻璃臺(tái)

平面度

≤0.02mm

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：德國SCHOTT進(jìn)口原片玻璃，微浮法工藝制造，經(jīng)過精密研磨，具有高平面度和透光率。

工作臺(tái)

材料

高強(qiáng)度航空鋁

結(jié)構(gòu)

三層全尺寸

工藝

自然時(shí)效，分時(shí)分序加工

裝配

尼康光學(xué)準(zhǔn)直儀調(diào)試精度

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：三層工作臺(tái)設(shè)計(jì)，高強(qiáng)度航空鋁合金材料，經(jīng)過特殊的處理工藝，使材料內(nèi)部和表面具備了強(qiáng)硬度和穩(wěn)定性。長久的自然時(shí)效過程，使工作臺(tái)消除了內(nèi)應(yīng)力的變化，物理特性非常穩(wěn)定。

底座立柱

材料

機(jī)身采用天然花崗巖材料

精度

00級(jí)

優(yōu)勢(shì)特點(diǎn)：底座和立柱采用高精度天然花崗巖，00級(jí)研磨處理，物理特性穩(wěn)定，無內(nèi)應(yīng)力變化，使三軸具有相同的溫度特性和膨脹系數(shù)，保證儀器精度的長久性，可靠性和穩(wěn)定性。

項(xiàng)目

序號(hào)

配件名稱

技術(shù)參數(shù)及性能

品牌

影像系統(tǒng)

1

CCD攝相機(jī)

彩色1/3"高清相機(jī)（日本索尼SONY芯片）

康斯德

2

光學(xué)鏡頭

多層光學(xué)鍍膜   0.7-4.5X高清定格定倍九檔位鏡頭

慕藤光

光源系統(tǒng)

3

表面光

五環(huán)八區(qū)+激光指示器

美國GREE燈珠

4

輪廓光

平行光

傳

動(dòng)

系

統(tǒng)

5

控制器

四軸全閉環(huán)

首豐

6

伺服電機(jī)

高精度全閉環(huán)伺服電機(jī)（采用日本尼康光學(xué)編碼器，百萬級(jí)細(xì)分）

英國BROOK

7

驅(qū)動(dòng)器

智能自診斷驅(qū)動(dòng)器

8

線性導(dǎo)軌

研磨P級(jí)

中國臺(tái)灣TBI

9

交叉導(dǎo)軌

研磨P級(jí)防蠕動(dòng)

LB

10

滾珠絲桿

研磨C3級(jí)

中國臺(tái)灣TBI

11

電機(jī)座

一體式C3級(jí)雙角接觸軸承

日本NTN

12

支撐座

一體式C3級(jí)

首豐

13

螺母座

研磨級(jí)鋼制

14

搖桿

3軸

15

限位開關(guān)

WC5

日本歐姆龍

光柵尺

16

光柵尺

分辨率0.001mm

首豐

玻璃

17

玻璃

研磨級(jí)微浮法光學(xué)

德國SCHOTT

工作臺(tái)

18

材料

高強(qiáng)航空鋁合金

中鋁

19

結(jié)構(gòu)

三層全尺寸

首豐

底座立柱

20

底座

00級(jí)天然花崗巖

濟(jì)南青

21

立柱

00級(jí)天然花崗巖

減震

22

減震

高穩(wěn)定雙層結(jié)構(gòu)減震臺(tái)

首豐

電腦

23

電腦

英特爾i5處理器，256G固態(tài)硬盤

戴爾

顯示器

24

顯示器

24寸顯示器